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涂胶键合一体机
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CR-CB03是一款将涂胶键合集成在一体的工艺设备,采用模块化设计,可根据客户要求进行增减。



参数:

1.4/6寸共用,可快速切换

2.支持砷化镓、蓝宝石、碳化硅等不同材料之间键合

3.采用两次对准方式,提高键合精度

4.人工上下料,可升级为全自动



具体工艺:

将carrier与晶圆放置在摆盘区,机械手臂取片后进行预对准,进入涂胶工位,将涂好键合胶的carrier与晶圆放置在键合工位进行键合。

可用于化合物器件的背部减薄、刻蚀、金属等工艺。

提高生产效率,保证整体TTV。


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